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TR-SES-200真空紫外传输反射评价系统

光源可调谐 样品可伺服旋转 探测器可旋转

TR-SES-200真空紫外传输反射评价系统通过发射真空紫外辐射到目标样品,测量目标样品反射量/发射量或荧光量。该测试系统包含一个发射波长在115nm-400nm的氘灯光源,一个焦距为200mm的真空单色仪并配备有PC电机驱动模块,一个滨松R8486光电倍增管其能够检测115nm-320nm的光信号,同时配有基于Labview开发的软件和电子控制系统。

产品特点

Characteristic

1.VUV/UV可调谐光源


氢光源,带电源模块,适用于100至240 V操作;
伺服控制的VM200单色器,具有200 nm和285 nm的分选器滤波器开关(用于连续工作在110到400 nm);
平等校正准直装配;


2.可倾斜旋转的伺服驱动样品轮


夹具为非圆形夹具能够夹持从5mm-30mm的样品;


3.可旋转的探测器


PMT加上高压电源和放大器;
伺服驱动旋转PMT平台;


4.电子或计算机系统


主要用于光源电源和伺服控制,包括嵌入式PC;
完整的软件包
原始光谱/透射/反射数据显示和存储;
样品轮和PMT控制用于角度扫描和样品选择;
用于批处理的宏命令;

 

 

产品组成

Component of Product

A.氢光源


        测试系统提供了一个能够发射从115nm到400nm的D2ArCM-L氢光源,其光子能量约为2*1015 光子/秒/弧度;光源通过SMA螺纹适配器安装在单色仪的入口狭缝。


B.单色仪


Resonance VM200 扫描单色仪(200mm焦距的真空单色器)包含一个涂有Al/MgF2涂层的凹面全息光栅,该光栅具有以下特点:
行数/mm:1200l/mm;
尺寸:40*50mm;
F#:4.2;
输入焦距:200mm;
输出焦距:187.5mm;
偏差角度:64度;
涂层:Al/MgF2用于优化100nm到300nm;
最佳的光谱范围:115nm-300nm;
总光谱范围:25nm-1000nm(金属涂层建议低于100nm);

       光栅的旋转是通过绝对编码的分级驱动器(AEGD)进行驱动,安装在光谱仪机构中,用记可自行更换光栅以适应不同使用需求,同时光谱仪在其未端有两个长臂可对安装入口和出口进行调整。


C.PMT 光电倍增管支架


        TR-SES-200真空紫外传输反射评价系统使用了滨松R8486 这个28mm的光电倍增管,该光电倍增管在115nm-320nm范围内敏感,其在122nm处的典型量子效率为22.5%,它的电源采用滨松C6271高压电源插座总成,高压通过系统软件进行控制。


D.分级器


        当扫描更高的波长范围时,第二和第三阶特征会出现,这使获得准确的光谱测量变得困难,为了防止这种情况的出现,系统配备了分选滤波器可在达到二阶特征信号之前滤除低波长的信号。滤光片是光圈轮的一部分,滤光片可在软件中进行选择,石英滤光片(大约在180nm处传输下降)Pyre滤光片(大约在290nm片下降)的安装是为了阻止较低波长光。


E.样品转轮


        系统配备一个样品装夹转轮以适应不同尺寸和开关的样品。样品安装在样品装夹转轮的背面这可使光入射到样品表面的同时PMT旋转。这样的设计仅需要样品比标准轮中的光圈大,标准样品轮光圈范围在3mm到25mm之间。我们可提供高达75mm样品的定制轮。


F.软件


        TR-SES-200测试系统使用的软件是基于Labview开发的应用程序,该应用程序兼容Windows XP/Vista/Windows 7。

技术参数

Specifications

 

参数 R8486 R8487 Unit
光谱响应范围 115到320 115到195 nm
最大响应波长 200 130 nm
光电阴极材料 Cs-Te Cs-L \
窗口材料 MgF2 \
最小有效面积 8*12 mm
倍增管电极 结构:圆形鼠笼式倍增系统1 \
阶数:9 \
材料:Sb-Cs \
直接电极间电流 阴极到倍增电极9:近似4 pF
阴极到所有其它电极:近似6 pF
基底 11pin 基底JEDEC No:B1-88 \
重量 45 G
适合针角 E678-11A(单独出倍) \
使用温度 -30~50
存储温度 -30~50

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